不論是普通酸分解法、高壓密閉分解法還是微波加熱分解法都要加入多種酸進行消解處理．其消解液中殘存的酸不光對分析結果的準確性有一定的影響，如果殘存有HF時對原子吸收分光光度計的石墨管、霧化器以及ICP-MS的霧化器和霧室等儀器部件都有腐蝕，甚至會損壞儀器。因此，在通常情況下，消解完后都要進行一個趕酸的步驟，但趕酸是一個不好掌握的過程，要么就是趕酸不*，要么就是容易蒸干，使樣品報廢或發生危險。 應該根據檢測元素確定，溫度高了易造成待測元素的損失和污染，溫度低的話，會延長實驗時間。一些元素可以設置到160~200℃,砷、汞等易揮發元素的話要再設置的溫度低點。
一般趕酸溫度不要超過150度，因為長時間加熱會對消解管的壽命產生不利影響。
做加標回收，然后不同趕酸溫度下實驗，根據回收率確定元素合適的趕酸溫度。
如果測汞，趕酸溫度一般在110左右，其他元素在130-150之間都可以。如果覺得趕酸時間太長或者酸氣腐蝕太嚴重，可以考慮真空趕酸系統。在140度下40分鐘可以把酸從8ml趕到1ml。并且所有酸蒸汽都被堿液吸收。汞由于沸點偏低，是極易揮發元素，因此前處理過程中控制溫度尤為重要。
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